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“公斤”新標準恐拉低半導體制程良率

來(lái)源:Linke日期:2017/5/5 10:34:39

      IC半導體業(yè)大震撼!國際通用百年的“公斤”定義明年將改變,但隸屬中國臺灣經(jīng)濟部的度量衡標準實(shí)驗室卻傳出目前仍籌不到經(jīng)費無(wú)法跟進(jìn),公斤量測校正標準將降為二級。如此將沖擊講求精準度的“納米”晶圓制程校正,臺灣引以為傲的IC半導體產(chǎn)業(yè)良率恐將大幅拉低。

      臺灣量測標準降為二級

      臺灣經(jīng)濟部標檢局昨日舉辦“國際計量趨勢研討會(huì )”,邀請國際度量衡委員會(huì )主席Dr. Barry Inglis等美日德專(zhuān)家,探討計量在產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新中的運用與貢獻。國際度量衡委員會(huì )并與我國分享明年初將上路的四項國際單位制定義新改變,包括“公斤”(質(zhì)量)、“克耳文”(溫度)、安培(電流)、莫耳(物理量)。

      標檢局官員指出,這四項中最重要的是“公斤”定義改變。過(guò)去準確衡量1公斤,靠的是質(zhì)量1公斤的“鉑銥公斤原器”,臺灣1995年引進(jìn)放在新竹工研院的國家度量衡研究室。但這個(gè)公斤原器過(guò)去100年卻飄移50微克,相當一顆直徑0.4毫米的小沙粒,準確度產(chǎn)生偏差,因此國際度量衡大會(huì )明年將公布,改以物理性的“普朗克常數”去定義。

      生產(chǎn)設備校正受影響

      國際單位制度改變,臺灣當然也得跟進(jìn),不過(guò)因為提升實(shí)驗室相關(guān)檢測設備要花6億臺幣,經(jīng)濟部標檢局面臨“無(wú)錢(qián)可編”的窘境,將無(wú)法在明年跟上國際腳步。不過(guò)如此卻暗藏產(chǎn)業(yè)的大沖擊,尤其制程是以“納米”(10億分之一公尺)計算的IC半導體產(chǎn)業(yè)。

      在半導體制程中,晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆要仰賴(lài)特定化學(xué)溶液,標檢局官員指出,這些化學(xué)溶液量測如果有一點(diǎn)點(diǎn)誤差,都會(huì )影響良率。未來(lái)一旦臺灣跟不上國際最新腳步,國家度量衡實(shí)驗室的“鉑銥公斤原器”將被降為二級標準,產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)機器設備校正會(huì )受影響。因國際標準拉高,相對臺灣半導體良率會(huì )被拉低。

      以先進(jìn)的臺積電與聯(lián)電晶圓制程來(lái)說(shuō),良率均高達9成5,新標準改變將被拉低多少良率?臺灣標檢局官員分析,這將視不同產(chǎn)線(xiàn)與產(chǎn)品而定,但公斤新標準會(huì )比舊的精準2到4倍,將有一定程度影響。該局也只能極力爭取預算,目前仍無(wú)著(zhù)落。 

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